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理化科學實驗中心高分辨薄膜X射線衍射儀運行通知

( 2019-09-03 )

理化科學實驗中心購置的高分辨薄膜X射線衍射儀(Malvern Panalytical,X'pert3 MRD)已經安裝并調試完成!該設備配備了Cu平行光反射鏡,hybrid雙晶平行光單色器,Ge(220)四晶單色器,x、y、z、phi、chi五軸歐拉換。

 

高分辨X射線衍射是半導體材料表征的標準裝備,常用于材料科學和納米技術、半導體材料和器件等的研究和生產質量控制。本儀器(X'pert3 MRD)適用于各種薄膜樣品的測試應用,尤其適合外延薄膜和單晶晶圓的結構分析和表征,例如: 搖擺曲線分析(omega-2theta, rocking curve)、倒易空間圖(reciprocal space mapping)、反射率(XRR)、薄膜物相分析(Phase analysis),掠入射表面分析(GIXRD)、殘余應力(Residual stress)和織構分析(texture)等。

 

該儀器自即日起開始運行。有測試需求的老師和同學請聯系送樣測試。

 

聯系人:高關胤,電話:0551-63603975

實驗室:中區理化科學實驗中心120



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